米用的空调系统已经是最小的了。实yàn室规模再小,反而更加不经济。
不仅建设成本贵,建起来还不算完。这样一个实yàn室的维护成本,一个月还要10万人民币。
里外里算了半天帐,王中阳最终也没下了这个决心。
“王总这边请。”周硕安静的灯王中阳参观过了无尘室,然后站到了实yàn室的中央。这里有一个大概三米长、两米宽的设备,看起来应该是中科院微电子研究中心出品的微米工艺光刻机。
只不过如今这台光刻机很多地方,已经显得和它原始的样子有些面目全非了。
最明显的地方,应该是它的工作台。原来用于光刻200mm单晶硅晶圆的工作台,现在已经被加大了数倍面积。由此带动的传动、对准等子系统的改进,可以说和重新设计一套光刻机系统也没什么区别了。
这还要多亏了尼康无私提供的光刻机成套设计资料,很多地方泛翰集团都参照尼康的技术对这台光刻机进行了改造。
而它之前复杂的棱镜系统也进行了精简,由于采用了接触式沉浸光刻技术,生产芯片用的复杂激光系统被极大的精简,但仍然保持了微米的工艺水准。
造液晶面板不可能像芯片一样复杂,液晶显示器的光刻面积远超制造芯片的晶圆,如果让液晶显示器高的和同等面积的CPU一样,这恐怕就没人能买得起了。
王中阳虽然不懂光刻机,但没吃过猪肉总见过猪跑。凭借松下合资方的优势,他可是废了老大的劲儿才去过一次松下的液晶生产厂。虽然那不是一次愉快的参观记忆,但还是让他对ITO光刻机有了一个初步的认识。
和他记忆中松下的生产设备比起来,单看卖相泛翰集团这台设备也不输给他们了。和土鳖产品的传统不同,这台经过改造的微米光刻机性能如何不说,单看造型和涂装就有晃瞎人眼的效果。
王中阳几乎是贪婪的看着这台光刻机,和当初看到日本人光刻机时候的心情完全不同。这次他的心里不再是压抑和惴惴不安,而是充满了骄傲和自豪!
光刻机!光刻机!光刻机!
多少人的命运,将会因为你而改变。多少人的梦想,将凭借你去实现。多少神奇的技术,有了你才有成功的希望!
而且,这是我们中国人的光刻机!你可以把脸贴在监视窗口上,甚至是用放大镜去观察它的机械结构。不会有人命令你退后到五米距离以外,不会有人在进入和离开的时候对你搜身,同样也不会有人对你的提问缄口沉默……
“哈哈哈哈,好,好哇!”王中阳笑道:“有了这个,我们要让日本人也知道,中国人一样能够掌握核心技术,一样可以生产出液晶面板来!”
“王总。”周硕走上前来,拍着王中阳的肩膀,轻轻笑道:“日本人早晚会知道,今天他对咱们带搭不理,明天咱们就让他高攀不起!”
“对,我们要让日本人对咱们高攀不起!”王中阳的双目在这一刻,迸发出耀眼的光芒。(未完待续……)
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